精密平面研磨機目前，先進光電子產品的制造正朝著高精度、高性能、高集成度和高可靠性的方向快速發展，帶來的對許多光電子產品部件表面的局部平面度及全局平面度提出的的高要求（如要求表面粗糙度達到亞納米量級），當表面粗糙度達到亞納米量級時，已與原子直徑（小于０。ＤＨ系章緒論列拋光設備還帶有自動化的研磨頭（４５ＫＧ）、自動加載系統和上下工件系統。１．２．３研磨拋光機的設計開發狀況１．２．３．１國外精密研磨拋光機開發狀況國外精密單面游離磨料研磨機生產商主要有Ｅｎｇｉｓ公司、Ｌｏｇｉｔｅｅｈ公司、英國ＬａｐｍａｓｔｅｒＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ公司、日本Ｈｉｔｅｃｈｎｏｔｈ公司和德國愛孚機械制造公司等。單面研磨機 精密平面研磨機 鏡面研磨機-東莞市金研精密研磨機械制造有限#用途： 精密 主要應用于不銹鋼、五金零部件、氣壓、液壓、水壓、密封件、壓縮機法蘭、光學晶體、藍寶石、LED襯底、導光板、模具、陶瓷片、硅片等各種金屬及非金屬材料，大批量平面高精密研磨或拋光。１．３課題來源及主要研究內容１．３．１課題來源廣州市科技計劃項目，項目名稱：超精密研磨加工設備的研究與開發。、青銅鏡第三時期 鏡面、形狀精度、尺寸精度 一般透鏡、放大鏡、金屬反射鏡ｌ 超精密研拋、加工變質層水晶振子基板、激光頭、各種標準２ 超精密研拋的自動化 批量生產透鏡用計算機控制超精密研拋加 Ｘ線光學用非球面反射鏡、超精密工 光學用金屬采用游離磨料、合適的研磨加工機和研磨工藝的平面研磨，作為一種設備相對簡單，可以得到很高的形位精度和表面質量的方法，仍然是超精密加工的有效手段之一。

2．試驗型高精密雙面研磨機，雙面研磨機研磨盤修整機構采用油壓懸浮導軌前后往復運動，金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進行精密修整，使研磨盤得到理想的平面效果。2．研磨盤修整機構采用油壓懸浮導軌前后往復運動，金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進行精密修整，得到理想的平面效果。誤差會有幾十微米甚上百微米，通過修盤機修盤后，研磨盤平面度可達到±0.002mm；工件加工后平面度可達到±0.0005mm（φ50mm）。首先輸入材料名稱和所要達到的表面粗糙度，經過專家系統的推理策略，得出一個推薦的工藝組臺和具體的參數值。精密平面研磨機目前代表國內水平的北京中國航空精密機械研究所（超精密加工技術國防科技實驗室）８０年代研制的龍門結構式ＣＪＹ－５００超精密平面研磨機床（如圖１．６），上下研磨盤用靜壓油缸推動上磨盤運動，軸向重復定位精度優于０２ｕｍ。長春理工大學則生產了高速（固結磨料）平面研磨機．主要用于透鏡的精磨加工。

平面研磨機特 點：1．系列研磨機工件加壓采用氣缸加壓的方式，壓力可調； 2．系列研磨機采用PLC程控系統，觸摸屏操作面板，研磨盤轉速與定時可直接在觸摸屏上輸入。精密平面研磨機它生產的１５Ⅳ單面研磨／拋光機（如圖１．４）能實現對壓電晶體、半導體材料、光學玻璃、光電子晶體、電子陶瓷等金屬或非金屬的單面研磨或拋光加工，能使加工表面獲得較好的平面度和表面粗糙度。本公司承接各種材料的拋光如：不銹鋼、銅、鋁、塑膠、陶瓷、導光板、五金產品、藍寶石、光學玻璃等等的鏡面拋光。 3、配合高精度修盤機，使研磨盤平面度達±0.002mm確保批量加工高精密平面的穩定性，并大大節省了時間。戴勇等人對超精密研磨和拋光專家系統進行了比較深入的研究，通過對研磨過程和研磨機理認識的不斷深入，積累了大量可靠的工藝實驗數據，建立了有實用價值的知識庫與數據庫，再利用有關加工過程的先驗知識和模型，進一步建立了專家系統，指導實際加工，向研磨和拋光的智能化控制方向發展。拋光是利用柔性拋光工具和磨料顆粒或其他拋光介質對工件表面進行的修飾加工。

單面拋光在對單面有平坦度要求，背面形狀復雜不易夾持或單平面基準面及高平坦之鏡面加工要求時；或薄易碎而沒有變形的情形下特別適用。小型桌面式的超精密研拋機以浙江工業大學的智能型納米級拋光機為代表，．技術水平基本上與國外２０世紀９０年相持平，但此類機器受結構所限，能加工的工件名義直徑只有大約２００ｍｍ左右。在研磨加工過程中．，磨料散置于磨盤上，其運動是隨機的，一般認為滑動和滾動同時存在，磨料對工件的切削力的大小和方向也是隨機的，這給分析和研究工作帶來了非常大的困難【２５１。例如化學機械拋光中的拋光液、拋光墊、拋光機、高等級半導體晶片和石英晶片、平面或多面體晶體和光學器件、陶瓷零件和磁性材料零件的研磨拋光機均還依賴進口，同時國外對次超精密加工工藝技術嚴格保密，這嚴重制約了我國超精加工水平的提高和普及，不利于先進電子制造業的長遠發展【２１＿２４１。精密平面研磨機計算機控制系統通過數字Ｉ／０卡實現對機床氣動系統、冷卻系統進行控制，并實現了對研磨壓力的優化控制，實現了對機床的數字化控制Ｉｓａ］。 K630A 特點： 1、變頻控制；實現軟啟動、停機、剛性沖擊小。

主要產品有：研磨機、平面研磨機、雙面研磨機、數控平面研磨機、三環平面研磨機、氣動平面研磨機、恒速平面研磨機、單面的平面研磨機、平面拋光機、調速平面拋光機、陶瓷平面拋光機等。平面研磨機特 點：1．系列研磨機工件加壓采用氣缸加壓的方式，壓力可調； 2．系列研磨機采用PLC程控系統，觸摸屏操作面板，研磨盤轉速與定時可直接在觸摸屏上輸入。試驗型高精密雙面研磨機，雙面研磨機特 點：1．試驗型高精密雙面研磨機，雙面研磨機通常研磨盤傳統的修盤方式是采用電鍍輪來修盤，這種方式得到的修盤效果不太理想。２．１研磨拋光加工機理的研究超精密研磨和拋光技術采用“進化＂加工原理，可獲得很高的精度和接近幾何學形狀的超光滑表面，在現代材料加工中有著很廣泛的應用。例如Ｊｅｏｎｇ—ＤｕＫｉｎ，鄧廣敏等章緒論人研究了陶瓷圓柱面的研磨［２９－３０】。精密平面研磨機文獻［２８】從摩擦學的角度來分析磨料顆粒，工件和研磨盤三者之間的相互作用過程，對磨料顆粒在微量去除材料過程中的運動狀態、模式和受力情況提及得比較少，磨粒運動時到底是滑動、滾動還是兩種運動狀態的復合運動，還沒有統一的結論。

本課題組在平面研磨拋光加工方面有良好的技術積累，研究成功平面研磨機Ｈｉ—ＴｅｃｈＬＰ３８０Ｓ，以銅基復合材料制成研磨盤，采用獨特配方配制的軟拋光液，加工光盤模具工件平面度可達０．８肛ｍ：表面粗糙度達到５．８ｎｍ，并成功長期用于國內知名企業光盤模具的修復等加工和磁頭磁性材料的鏡面加工。精密平面拋光機|平面研磨機|雙面拋光機|平面研磨加工-東莞金研#總數:37條每頁:20條共有:2頁 | 當前第1頁前頁上一頁。精密平面研磨機但是，人們對研磨拋光機理的研究與對其技術的應用相比卻滯后固著磨料研磨的加工機理比較簡單，與砂輪切除材料的過程基本一廣東工業大學工學碩士學位論文致，屬于微量切削過程。當前，我國次超精密研磨設備設計制造技術水平總體不高，精密的研磨拋光機均還嚴重依賴于進口，而且價錢非常昂貴。研磨技術從原始的石器研磨加工發展到現今的用計算機控制的超精密研拋加工，一共經歷了四個時期，其從古到今的發展歷程如表１．１所示【引。超精密平面研磨可分為四個基本組成部分一研磨盤、研磨液、磨粒和工件…１１。

研磨盤是精密研磨加工中的模具，其面型精度對被加工件的面型精度影響非常大，模具表面形貌能在一定程度上“復制＂到工件表面上【１１－１２１。生產超精密平面研磨拋光設備的公司主要有上海日進機床有限公司、上海菜特門機械有限公司、北京奧美創新機電科技有限公司、深圳宏達高精度平面研磨拋光設備有限公司、深圳市納諾斯精密機械技術有限公司等。超精密研磨的特點是能獲得極高的面型精度，比如超精密平面研磨可以使工件的平面度達到十分之一甚百分之一微米的水平。文獻［２７】認為拋光是以磨粒的微小塑性切削生成切屑為主體而進行的，在材料切除過程中會由于局部高溫、高壓而使工件與磨粒、加工液及拋光盤之間存在著直接的化學作用，并在工件表面產生反應生成物，由于這些作用的重迭，以及拋光液、磨粒及拋光盤的力學作用，使工件表面的生成物不斷被除去而使表面平坦化。另外，為獲得比較好的研磨效果，國內外許多學者對研磨盤材料的選擇，研磨盤結構的設計，研磨盤表面的修整，研磨過程的清潔方法、研磨磨料和研磨液成分、研磨拋光墊的結構等方面作了深入的研究５－３７】。精密平面研磨機單面游離磨料研磨拋光加工因其適應面廣，仍然是應用廣泛的加工形式之一。