切削過程表面燒傷會對玻璃的后續加工 及光學性能產生嚴重的影響，所以有氣孔高磨粒 率的砂輪不符合石英玻璃的ＣＭＧ加工。針對石英玻璃ＣＭＧ加工的特點，開發了ＣＭＧ專用砂輪及磨削液，利用正交實驗法優化了石英玻璃 ＣＭＧ加工工藝參數，分析了ＣＭＧ加工過程中磨削壓力、砂輪轉速、磨削液流量、ｐＨ值等因素對加工表面粗糙度及加工 效率的影響，并利用優化后的工藝參數加工得到了兄為０．７９５ ａｍ的石英玻璃表面。本實驗中確定有氣孔低磨粒率的砂 輪作為石英玻璃的ＣＭＧ加工工具。該磨粒不僅能夠和 玻璃發生適當的化學反應，同時對Ｓｉ－Ｏ鍵具有很 好的切斷作用，并且易于從加工表面脫離開，不會 對工件表面造成損傷和污染［８］。石英加工機械設備建材生產加工機械-人造石英石全套設備,人造石全套生產設備，石英石-建材生產加...#百信機械專業提供生產石英石成套設備及人造石成套設備. 本公司主要產品有:石英石壓機/石英石攪拌機/石英石穩定機/石英石定厚機/石英石磨光機/石英石切割機/等系列石英石生產設備. 我公司負責設備的全套生產設備的安裝調試和技術指導。分別使第７? 期 仇中軍，等：石英玻璃的化學機械磨削加工 圖３石英玻璃的表面燒傷微觀狀態 Ｆｉｇ．３ Ｍｉｃｒｏｓｔａｔｅ ｏｆ ｇｒｉｎｄｉｎｇ ｂｕｒｎ ｆｏｒ ｑｕａｔｚ ｇｌａｓｓ 用余下的兩種類型砂輪對石英玻璃進行ＣＭＧ加 工。

為兼顧這個 兩個指標，需找出使每個指標都盡可能好的 工藝條件，因此在數據處理時應用到了加權綜合 評分法。 2005年開始對人造石英石設備和石英石技術研發，從產品開發、技術攻關、技術引進，以快的速度將的技術和客戶的需求反應到產品生產中，使技術和設備走在先進水平線上。加權綜合評分值ｙｉ的計算公式如式１ 所示： ｙｉ—ｂｉ。加權綜合評分值ｙｉ的計算公式如式１ 所示： ｙｉ—ｂｉ。得到表面測量結果如圖６所示。石英加工機械設備輸送帶式壓力機-人造石英石機械使用輸送帶式真空壓力機生產石英石，從進料到出板完全為輸送帶傳送，不僅大大節省了人力，提高了加工效率，而且性能也大幅提升，更加環保，是石英石生產的理想設備。

石英加工機械設備≤１ ｎｍ，同時其光學性 能（透過率≥９３％，反射率≤７％）和ＣＭＰ加工工 件測量結果基本相同。由于材料去除效率和表面粗糙度 對于石英玻璃ＣＭＧ加工同等重要，因此假設兩 個指標對終磨削效果的影響是同等重要的，各 占５０分（或者是５０％），權重分值在后面的計算 時還可以作適當地調整。和ＣＭＰ等游離磨粒方 式相比，采用砂輪等固定磨粒加工的方式由于磨 粒被結合劑所固定，工件的形狀精度可以通過加 工設備的精度進行控制，加工大口徑工件時更容 易獲得高的形狀精度［３］。因 此，有氣孔低磨粒率砂輪更加適合于石英玻璃 ＣＭＧ加工。 從微觀角度來說，在石英玻璃加工過程中，為 了實現石英玻璃的材料去除，少需要對材料施 加能夠破壞Ｓｉ一０結合勢能的能量。 圖５ ＣＭＧ磨削液對磨削效果的影響 Ｆｉｇ．５ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ ｒｅｓｕｌｔｓ ｏｆ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ ＣＭＧ ｆｌｕｉｄｓ 利用開發的專用砂輪及磨削液，進行了石英 玻璃ＣＭＧ加工的實驗。

 因此，ＣＭＧ磨削過程中，通過在磨削液、砂 輪結合劑中添加適當的化學成分和選擇磨粒種 類，促進砂輪、磨削液與玻璃表面的硅酸鹽發生化 學反應，在玻璃表面形成硅酸凝膠薄膜，會減緩了 化學作用的進一步進行。石英加工機械設備 本項研究結合傳統磨削方式和ＣＭＰ的優 點，提出了化學機械磨削（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ，ＣＭＧ）的加工方法。這主要是由 于有氣孔低磨粒率的氣孔比較多（３３％），容屑空 間大，排屑比較方便，因此可減少磨削過程中的堵 塞，而且比較多的氣孔還可以將空氣或者磨削液 帶入到磨削區域，一定程度地降低了磨削點的溫 度，也為獲得好的磨削表面質量創造了條件。 磨削液也會對加工效率和加工表面質量產生 很大的影響。由于光掩模所用的石英玻璃基板的加工質 量直接決定著掩模設備的加工能力和性能，因此， 光掩模用玻璃基板的加工在下一代光掩模技術中 有著關重要的作用［１］。圖５所示為采用 開發的ＣＭＧ專用磨削液進行濕式磨削和無磨削 液的干式磨削的結果。

石英加工機械設備歡迎廣大朋友現場參觀考察。 磨削液的作用主要有兩個，一方面是冷卻作用，避 免磨削區溫度過高造成玻璃燒傷，影響石英玻璃 表面質量和光學性能，從這個角度講冷卻液的流 量越大越有利于抑制溫度的升高；另一方面，磨削 液的流量越大，帶入磨削區的ＯＨ一也越多，也 越有利于弱化石英玻璃化學分子間的結合勢 能。而從各單項因素的綜合評分平均值可以得 到的加工工藝參數組合：Ａ；（磨削壓力２４ ｋＰａ），Ｂｓ（砂輪轉速３００ ｒ／ｒａｉｎ），Ｃｌ（磨削液ｐＨ 值８．５），Ｄ２（磨削液流量６ １／ｍｉｎ）。為兼顧這個 兩個指標，需找出使每個指標都盡可能好的 工藝條件，因此在數據處理時應用到了加權綜合 評分法。【石英石臺面加工機械】_石英石臺面加工機械價格_石英石臺面加工機械批發_石英石臺面加工機械廠家_馬可波羅網#本頁是馬可波羅為您提供的石英石臺面加工機械產品供應商、制造商，囊括了石英石臺面加工機械產品的參數、型號、圖片、價格等信息，是石英石臺面加工機械產品的權威數據庫。２００７，１８５：３１—３７． ［５］周立波，河合真二，本田將之．Ｓｉ哆工八∞ｃｈｅｍ０一 Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ—Ｇｒｉｎｄｉｎｇ（ＣＭＧ）Ｉ二陰中為研究［Ｊ］．精 密工學會懿，２００２，６８（１２）：１５５９—１５６３． 石英玻璃的結合勢能，消除因脆性去除而造成的 表面損傷，實現了大口徑工件的高表面質量、高形 狀精度的加工。

Ｅ－ｍａｉｌ：ｌｂｚｈｏｕ＠ｍｘ．ｉｂａｒａｋｉ．ａｃ．ｊＰ ●下期預告 單探測器偏振相干層析信號傅立葉變換分析 陳曉冬，汪 毅，李海峰，李 喬，郁道銀 （天津大學教育部光電信息與技術實驗室，天津３０００７２） 研究了生物組織的雙折射率、質地密度及層次結構等不同特性對單探測器偏振相干層析（ＰＳ－ ＯＣＴ）信號傅立葉頻譜的影響。從加工工件 中任取一個進行測試，并和ＣＭＰ加工基板進行 比較，結果如圖７所示。從極差Ｒ的大小可以看出各因素中 對綜合結果影響的是Ｂ（砂輪的轉速），其次 是Ａ（磨削壓力），Ｃ（磨削液ｐＨ值），Ｄ（磨削液流 量）。石英加工機械設備從加工工件 中任取一個進行測試，并和ＣＭＰ加工基板進行 比較，結果如圖７所示。 圖１ ＣＭＧ專用砂輪 Ｆｉｇ．１ ＣＭＧ ｓｐｅｃｉａｌ ｗｈｅｅｌ 由于石英玻璃ＣＭＧ過程是機械去除和化 學等共同作用的結果，從促進磨料、結合劑和工件 的化學作用效果考慮，開發的ＣＭＧ砂輪的結合 劑選用環氧樹脂，磨料選用氧化鈰。ＨＥＩＮＺＥＬ Ｃ，ＷＩＴＴＭＡＮＮ Ｍ． Ｆｒｉｃｔｉｏｎ，ｃｏｏｌｉｎｇ ａｎｄ ｌｕｂｒｉｃａｔｉｏｎ ｉｎ ｇｒｉｎｄｉｎｇ［Ｊ］． ＣＪＲＰＡｎｎａｌｓ，１９９９，４８：５８１－５９８． ［４３ ＶＥＮＫＡＴＥＳＨ ＶＣ。

磨削效果的表征則采用磨削效率（材 料去除效率）和表面粗糙度Ｒ。石英加工機械設備石英石設備壓鑄機,石英石技術支持_機械及行業設備_世界工廠網中國產品信息庫#供應石英石設備壓鑄機,石英石技術支持的詳細描述： 重慶中科機械設備廠創建于1993年，位于軍工機械、經濟發達、交通便利的長江上游經濟發展城市 重慶，十幾年來致力于混疑土攪拌系統和人造石澆注設備的研發制造，構建了一個由多名機械工程師和一線操作技術人員組成的研發團隊，通過技術改良，形成生產技術上的優勢。磨削過程中由 于影響磨削效果的因素比較多，如果一一進行單 因素實驗，需要進行大量的實驗，還要有足夠的時 昌ｃ＼《光學精密工程 第１８卷 間和成本。 利用３種砂輪在圖２所示的能夠實現等壓控 制的立式磨床上分別對石英玻璃進行ＣＭＧ加 工。如何控制磨削 液的ｐＨ值，并使其在整個拋光過程中保持在適 當范圍內，是能否獲得高質量石英玻璃加工表面 質量的關鍵之一［９］。和ＣＭＰ等游離磨粒方 式相比，采用砂輪等固定磨粒加工的方式由于磨 粒被結合劑所固定，工件的形狀精度可以通過加 工設備的精度進行控制，加工大口徑工件時更容 易獲得高的形狀精度［３］。