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生產石英坩堝的設備

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基于現在環境污染和常規能源短缺的雙重危機,發展清潔的,可再生的新能源的要求越來越迫切。其特點是設備可操作性強,工藝成熟,產品利潤空間大,市場前景廣闊。國內常用拉制單晶硅用石英坩堝18英寸和20英寸也有廠家使用22及以上的坩堝。生產石英坩堝的設備采用本實用新型,可使某些只能在陶瓷坩堝生產的特種玻璃,也能象鉑金坩堝生產一樣,采用漏料成型工藝,從而獲得高品質的、無條紋、無氣泡產品,玻璃的成品率也可大幅度提高。048晶體生長的石英坩堝鍍碳膜裝置[摘要]一種晶體生長的石英坩堝鍍碳膜裝置,包括加熱爐、放置被鍍膜石英坩堝的沉淀室和供氣控制器。 真空電弧法生產石英坩堝(以下簡稱真空坩堝)是目前世界上生產石英坩堝進的技術。

光伏產業是世界上發展快的產業,比IT 業發展還要快,而且國際能源機構推算,今后的五十年內,硅太陽能電池(光伏產業)的發展速度將保持在 50%以上的增長速度,是一個朝陽產業。 2、不能和HF接觸,高溫時,極易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽作用。生產石英坩堝的設備044內層透明電弧石英坩堝熔制機[摘要]本實用新型涉及一種里層為透明層,外層為半透明層的內層透明電弧石英坩堝熔制機,屬采用真空電弧離心法生產半導體用石英坩堝的熔制設備領域。 4.石英質脆,易破,使用時要注意。太陽能發電原理是利用半導體材料的光電效應。設備的更新改造不斷升級:從初的回轉式工作臺,到推拉式工作臺,再到的雙工位伺服驅動低位工作臺(目前的模具工作臺無震動和沖擊現象 ,低位工作臺方便加料和取堝);從當初的水冷套模具,到現在的抽真空模具, 從原液壓驅動方式到電液推桿,再到近開發的伺服電機驅動,進一步提高了坩堝產品的質量,增加了坩堝設備的運行平穩性和控制精度,減少了設備的維修量,可以說其工藝 技術及生產設備已趨完善。

他具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節約能源、質量穩定等優點。 3.石英坩堝適于用K2S2O7,KHSO4作熔劑熔融樣品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔劑處理樣品。以上新技術均為國際先進水平。防止了試料與石英坩堝內壁的粘連,使長成的晶體外形光滑完整,晶體易于從坩堝中倒出,石英坩堝可重復使用。碳膜隔離了試料與石英壁直接接觸,防止了試料被污染和石英坩堝在高溫下的變性。生產石英坩堝的設備該產品完全能滿足美國GE、日本申和 以及國際通用標準DHS。

隨著大規模集成電路的飛速發展,對單晶硅的直徑要求越來越大,需求量也越來越大。 綜上所述,真空電弧法石英坩堝項目是目前國內石英行業的技術含量高的項目。1998年~2000 年該廠又陸續投產了3 臺石英坩堝生產線。目前,在可生產6-14 英寸和14-22 英寸真空坩堝的兩種成套設備的基礎上,又設計了24-28 英寸的真空坩堝制造設備。生產石英坩堝的設備主機包括:旋轉成型機構、電極升降及開閉機構、遮熱板升降機構、電弧電源裝置、液壓傳動系統、真空系統、電控操作臺系統、防音及給排風系統、吹掃清洗設備及坩堝取出工具等。產品技術水平達到了國際先進水平, 填補了國內空白。

抓住已培養成熟的市場機遇,投資該項目無疑是一個高起點、高回報,超前眼光的選擇。中國加入WTO 后,該產品在國內市場非但不會受到沖擊,相反由于國內的成本優勢,只要保證產品質量,不僅能夠保住國內市場,在國際市場也能掙得一席之地。 目前坩堝生產涂層技術已被大多數廠家使用是在普通石英砂溶制的坩堝表面涂上一層高純度石英砂使其形成致密層,其致密層能阻止單晶硅高溫拉制過程中硅與石英坩堝反應提高成晶率。為了適應市場需求變化,1996 年10 月, 該公司又委托我們研制開發14 寸-20 寸大直徑高純度電弧離心石英坩堝的生產設備、工藝技術,并建成生產能力2 萬只/年的電弧坩堝生產線。生產石英坩堝的設備 目前使用我們設備和技術的廠家分布在遼寧、江蘇、天津、湖北、江西、四川、山東,近30 條坩堝生產線,比較大的公司有法國圣戈班公司、美國通用電氣(GE)石英公司(無錫)、湖北菲利華、江蘇華爾。其技術水平遠遠超過國內水平,達到了國際先進水平。

設備安裝調試完成之后,聯合試車一次成功。目前國內坩堝生產廠家生產的18和20英寸坩堝技術都比較成熟。 五、項目研發及成果 項目由來:1995 年9 月,原錦州155 廠石英坩堝分廠(現屬法國圣戈班公司)委托原建筑材料工業部直屬單位---秦皇島玻璃工業設計院研制開發6 寸-14 寸高純度電弧離心石英坩堝的生產設備、工藝技術。生產石英坩堝的設備該產品性能優越,具有純度高、 雜質含量低、幾何尺寸偏差小,無氣泡,無析晶現象等優點,技術水平達到國際先進水平,具有很高的推廣價 該技術主要只利用高純石英砂,在超凈環境下真空燒制而成。 四、經濟可行性分析 按各種規格坩堝的平均產出量計算,一臺坩堝制造機年產坩堝約 2 萬只,銷售收入約 3800萬元,扣除生產成本和各種費用等,年純利潤可達1000 萬元以上。石英玻璃坩堝是單晶硅生產中的關鍵必需品,是半導體產業的龍頭產業。

所以對大直徑石英坩堝的規格、品種、數量的要求都發生了新的變化。生產石英坩堝的設備解決了目前國內含有氣泡的不透明石英坩堝,由于氣泡內含有CO2028石英玻璃坩堝[摘要]本發明涉及一種用于拉制硅單晶體的石英玻璃坩堝,其包括一個具有開孔和封閉孔的致密燒結區域的石英玻璃成形體,在所述石英玻璃成形體的內側有不透氣釉料,外側具有多孔性。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅,發展大規模集成電路必不可少的基礎材料。其原料里雜質在生產時高溫熔制過程中產生黑點氣泡等對拉制單晶硅時其穩定性都有一定影響。并于1998 年度通過了國家新產品采標驗收,被評為新產品。它具有熱穩定性好,能在高溫下連續工作時間長,并且在使用過程中,沒有軟化和塌邊現象,無高溫開裂鼓泡現象,與熔硅長時間接觸融入量小,降低了單晶中的氧含量,提高了單晶的質量,且高溫下不形成方石英顆粒,易于拉晶控制,性能穩定。

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