簡單的小型設各和工藝與現代的科學檢測方法相結合，一樣能加工出理想的元器件。基于超聲研磨的超精密加工 - 豆丁網#和發展高科技產品等方面具有重要的作用。因當時修整技術的限制，影響了這項技術在金屬加工領域的發展。它標志著一個國家制造業的水平，也是各國發展科學技術的重要支撐。彈性發射加工 EEM 設備通過對現有工件的加工實驗，對拋光液、拋光墊、拋光參數等工藝要素和材料的去除機理進行有效的科學評判與修正，為其它塑性金屬材料的精密超精密研拋加工提供合理的理論分析和方法借鑒。 2. 磁流體研磨加工 磁流體研磨加工是利用磁性流體本身所具有的液體流動性和磁性材料的磁性以及外磁場的作用來保持磨粒與工件之間的接觸通過相對運動來拋光工件表面的加工方法。

目前，超精密加工是指加工精度優于0. l!m，粗糙度低于0. 025!m 或更高精度的加在超精密加工中，超精密切削、超精密磨削的實現是依賴于銳利的超硬切削工具、高精度高剛度的設備及其他周邊技術的支持。彈性發射加工 EEM 設備數控彈性發射加工-《江蘇機械制造與自動化》1998年04期-中國知網#地址：北京清華大學 84-48信箱 知識公司 京ICP證040431號 互聯網出版許可證 新出網證（京）字008號。 三、電場和磁場拋光加工 電場和磁場拋光加工是利用和控制電、磁場的強弱使磁流體帶動磨粒對工件施加壓力從而對高形狀精度、高表面質量和晶體無畸變的表面進行加工的拋光方法。以上各種超精密研磨方法都分別在不同的加工對象上取得了良好的效果。 （４）磁粒光整加工利用磁性工具形成的磁場對吸引加工區域內的磁性磨粒，使之沿著磁力線方向排列，形成具有一定剛度的磁刷，在與工件相對運動的 北京工業大學工學碩士學位論文 過程中壓向工件而實現彈性微切削。其中彈性發射加工( EEM) 由于兼有研磨和拋光的特點而有發展前途。

它是指加工精度達到或高于0.1μm表面粗糙度低于Ra0.025μm的砂輪磨削方法。不久前，美國利用多路激光對反射鏡的型面進行在線精度檢測，然后根據測得的幾何形狀誤差，用帶研磨頭的小型設備進行局部研磨拋光，成功研制出來大型高精度光學反射鏡。彈性發射加工 EEM 設備 （保密的論文在解密后應遵守此規定） 簽名：立塹魚 導師簽名： 吼掣 第１章緒論 第１章緒論１．１精密磨削及研磨拋光技術的發展和現狀 精密超精密加工技術是適應現代化高科技發展需要而發展起來的一種機械加工新工藝，己成為發展技術產品不可缺少的關鍵性加工手段，在軍事工業和民用工業中都有廣泛的應用。⑤ 工具頭的形狀并不是直接復印到工件表面，其它影響因素( 如間隙、磨料粒度、濃度、進給速度等等) 也較易控制，因而可獲得精確的加工表面。初較有成效的精密鏡面磨削實驗起源于瑞士，所用刀具為彈性的６００＃～８００＃樹脂砂輪，加工工件表面粗糙度達到了Ｒａ０．０５ｔｕｎ。請在來稿時寫清作者聯系地點、電話，以便聯系。

因此，對于材料顯微結構的觀察與評價成為分析和研究材料的應用性、加工性的基礎和必備步驟。彈性發射加工 EEM 設備加工中使用的腐蝕液為甲醇、乙二醇與溴的混合液。近，瑞士ＭⅨＲＯＭ公司生產的高速精密五軸加工主軸轉速為４２０００ｒ／ｍｍ，定位精度達５¨ｍ，已達到過去坐標鏜床的精度。與現代飛機、潛艇、導彈性能和命中率有關的慣導系統的精密陀螺、激光核聚變的反射鏡、大型天體望遠鏡的透鏡和多面棱鏡、衛星的姿態軸承、大規模集成電路的硅片、計算機磁盤、復印機磁鼓和激光打印機的多面鏡等都是精密超精密加工工藝的產品。下面分別介紹以上所述的新原理研磨拋光技術。④加工成本低金剛石砂輪和立方氮化硼砂輪比較昂貴但由于其壽命長加工效率高所以綜合成本低。

 一、非接觸研磨拋光 1.彈性發射加工 彈性發射加工EEM是非接觸拋光技術的理論基礎。請在信封上注明“投稿”。彈性發射加工 EEM 設備精密超精密磨削、研磨和拋光技術通常會作為精密加工的終工序，對精密超精密加工效果起著關重要的作用。日本三井公司開發的數控平面磨床可實現兩軸聯動，小進給可達０．１衄１。 為了使用途廣泛的塑性金屬材料得到更好的加工效果，使其更好地應用于我們的生產、生活，需要對多種加工工藝方法進行必要的探索和總結． 第１章緒論１．３課題的意義及主要研究內容 Ｈ６２黃銅（直徑０８０ｍｍ）是某原子能研究所用來作為離子轟擊的靶材，要求加工表面粗糙度Ｒａ值達到１０ａｍ以下的光滑鏡面。由此可知，超聲研磨和超聲波加工及現有研磨方法有著本質的區別，是一種新的超精密研磨方! 超聲研磨原理性試驗我們利用現有設備，對超聲研磨的加工原理和技術上的可行性進行了試驗，試驗系統與超聲波加工類同，如圖 所示。

后來，美國又研制出大型６軸數控精密研磨機，用于大型反射鏡的精密研磨加工。 五、液中研磨 液中研磨法是將超精密拋光的研磨操作浸入在含有磨粒的研磨劑中進行借助水波效果利用浮游的微細磨粒進行研磨加工。超聲研磨脆性材料和塑性材料的機理是有所不同的，脆性材料的加工主要是依賴于表面層微裂紋擴展、生成，而使材料脆裂、脫落。很長一段時間內，主要的研拋技術都是在沿用這種拋光機的基礎上，對拋光模層材料、拋光液、拋光磨料進行改進，以適應不同材料、不同精度要求的精密超精密加工．１９６６年，Ｒ．Ｉ）ｉｃｔｚ改變拋光 第１章緒論液供給方式，采用浸液拋光（ｂｏｗｌ ｆｅｅｄ），將瀝青拋光模浸沒于拋光液中，獲得了粗糙度小于０．１３ｎｍＲＭＳ的表面【６】。 （４）對所選精密鏡面加工方案進行實驗驗證，加工出符合精度要求的工件樣件。彈性發射加工 EEM 設備 四、無磨料拋光 1.水合拋光Hydration polishing 水合拋光是一種利用在工件界面上產生水合反應的新型高效、超精密拋光方法。

這些精密磨床主軸部件都采用了高精度的空氣靜承或液體 北京工業大學工學碩士學位論文靜承，使機床精密主軸運動精度高、摩擦極小、噪音低、壽命長，而且對工作環境要求不高，此外，在軸套材料上，選用了青銅粉末冶金材料、多孔質石墨、鋁基陶瓷、花崗巖、人造花崗巖等熱膨脹系數較小的新型材料【３１。彈性發射加工 EEM 設備《航空精密制造技術》編輯部%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%。國內，哈爾濱工業大在ＥＬＩＤ磨削技術的應用實驗中得到了表面粗糙度Ｒａ６ｎｍ的鏡面。 本課題的主要研究工作集中在以下幾點： （１）研究Ｈ６２黃銅的ＥＬＩＤ磨削和精密鏡面拋光工藝，通過實驗結果的對比，優化出工藝參數，總結出能夠達到精度要求、效率要求和成本要求的工藝措施。磁性磨料的硬度不高，切削力小，工件表面粗糙度可達到 Ｒａ＿＜Ｏ．０１２ｐｍ，加工效率和系統穩定性低。 精密超精密磨削和研拋技術的進步體現在機床、刃具及相關工藝技術的發展上。