腐 蝕 工 序 中 要 去 除 4 0 ～ 5 0  m 的 厚 度 一 層 。圖 7 - 1 7 為 研 磨 效 率 與 研 磨 壓 力 間 的 關 系 。倒 角 的 好 壞 往 往 對 成 品 率 產 生 重 大 的 影 響 。將 樹 脂 結 合 劑 碗 形 金 剛 石 砂 輪 的 端 面 磨 削 與 一 般 平 形 砂 輪 的 平 面 磨 削 相 比 較 （ 略 ） 。目 前 對 基 片 的 加 工 已 自 成 體 系 。加工石粉用什么機械 磨 削 前 后 基 片 經 腐 蝕 后 的 撓 曲 情 況 見 圖 7 - 1 3 。

腐 蝕 面 上 集 積 有 許 多 小 坑 ， 表 面 粗 糙 度 只 有 R a 1 0  m 左 右 ， 因 此 要 給 拋 光 工 序 留 下 較 厚 的 拋 光對 此 如 果 選 擇 適 當 的 添 加 劑 和 溫 度 條 件 ， 表 面 粗 糙 度 可 以 控 制 在 1  m 以 內 。四 ， 基 片 的 腐 蝕腐 蝕 目 的 ： 是 去 除 切 片 及 研 磨 后 在 基 片 表 面 上 殘 留 的 加 工 變 質 層 ；去 除 侵 入 和 夾 雜 在 微 小 裂 紋 里 的 研 磨 劑 和 磨 料 ；去 除 附 著 在 表 面 的 金 屬 元 素 等 不 純 物 質 。加工石粉用什么機械 腐 蝕 去 除 的 厚 度 可 根 據 加 工 殘 留 的 變 質 層 厚 度 而 定 。藍 寶 石 的 研 磨 可 使 用 金 剛 石 粉 、 B 4 C 、 S i C 等 磨 料 ， 通 常 多 采 用 助 B 4 C 或 S i C 磨 料 ， 在 鑄 鐵 研磨 盤 上 研 磨 。目 前 主 要 是 使 用 兼 有 化 學 作 用 的 拋 光 方 法 。為 防 止 以 后 各 工 序 中 發 生 棱 角 的 崩 碎 掉 屑 而 影 響 基 片 的 質 量 ， 也 防 止 劃 傷 操 作 者 ， 故 要 對 基 片倒 角 。

目 前 ， 硅 片 的 加 工 技 術 ， 要 求 都 極 為 嚴 格 ；粗 糙 度 要 求 R a 1 ～ 2  m ， 1 2 . 7 c m ( 5 英 寸 ) 硅 片 的 平 面 度 為 3 ～ 5  m 、 加 工 缺 陷 的 密 度 小 于 1 0 0 個/ c m 2 。還 有 用 圖 7 - 9 所 示 的 修 整 器 對 鋸 片 進 行 修 整 的 。各 國 都 有 自 己 的 標 準 ， 在 基 片 的 尺 寸 、 形 狀 、 精 度 要 求 是 有 差 異 的 。歸 納 起 來 有 下 列 三 種 :( 1 ) 極 微 小 的 磨 料 粒 子 在 被 加 工 表 面 上 滑 動 和 轉 動 時 ， 由 于 粒 子 的 機 械 作 用 或 與 表 面 間 的 化 學 作用 ， 便 表 面 材 料 脫 離 而 去 除 。 圖 7 - 1 0 示 出 用金 屬 結 合 劑 砂 輪 進 行 平 面 磨 削 時 所 產 生 的 龜 裂 深 度 與 砂 輪 粒 度 、 磨 削 深 度 間 的 關 系 。加工石粉用什么機械加 工 要 求 高 ， 沒 有 變 質 層 ， 故 后 需 要 采 用 超 精 密 研 磨 。

基 片 的 加 工 精 度 要 求 很 高 ， 表 面 質 量 也 要 求 很 高 ， 表 面 粗 糙 度 R a 很 低 ， 不 能 有 劃 傷 和 加 工 表面 變 質 層 。各 項 技 術 要 求 均 為 亞 微 米 級 ， 對 硅 片 進 行 全 面 檢 查 是 既 重 要 又 困 難 的 技 術 。在 切 割 中 產 生 的 彎 曲 等 幾 何 方 面 的 形 位 誤 差 ， 在 以 后 的 研 磨 、 拋 光 工 序 中 將 很 難 去 掉 ， 使 后 續的 制 造 工 序 如 光 刻 等 作 為 基 準 時 成 為 問 題 。磨 削 工 藝 ：先 用 W 4 0 粒 度 的 砂 輪 磨 削 深 度 1 0 0 ～ 1 5 0  m ，再 用 W 4 粒 度 的 砂 輪 磨 削 深 度 約 7  m ，達 到 給 定 的 精 度 值 ： 厚 度 誤 差 ± 5  m ， 平 行 度 5  m / Φ 1 0 1 . 6 m m ， 平 面 度 2 ～ 3  m ， 表 面 粗 糙 度R a 2 ～ 3  m 、 。目 前 多 用 由 兩 層 構 成 的 拋 光 襯 墊 ， 表 面 為 發 泡 層 ( 或 稱 為 微 孔 層 或 外 保 護 膜 層 等 ) 。加工石粉用什么機械其實石料加工產生的石礦碎沙更是很好的施工原料，其比河沙更具有堅固性的特點，資源比河沙更豐富，而且相比人工制砂設備投資較小，適合大多數人投資。

加工石粉用什么機械§ 2 半 導 體 基 片 的 加 工 技 術一 、 切 片 和 集 成 塊 分 離 切 斷主 要 的 切 斷 方 法 列 于 表 7 - 5 。堿 性 腐 蝕 液 對 S i 結 晶 面 具 有 很 強 的 各 向 異 性 ， 特 別 是 對 ( 1 0 0 ) 面 和 ( 1 1 1 ) 面 的 腐 蝕 速 度 比 為 6 0 ～1 0 0 ： 1 。注 意 研 磨 條 件 ： 研 磨 壓 力 1 0 M P a ， 研 磨 盤 的 轉 數 4 8 r / 民 ， ， 工 件 轉 數 3 7 r / m i n 。 磨 削 后 要 倒 角 ， 以 去掉 鋒 利 的 棱 邊 。腐 蝕 液 有 酸 類 和 堿 類 兩 種 ， 目 前 幾 乎 均 采 用 酸 類 腐 蝕 液 。鋸 片 安 裝 時 的 偏 心 也 將 引 起 切 片 撓 曲 。

在 硅 片 的 磨 削 中 ， 試 用 了 與 硅 片 有 化 學 反 應 的 K O H 溶 液 做 磨 削 液 ， 由 于 磨 削 液 的 化 學 作 用 ，不 但 磨 削 力 減 小 ， 而 且 磨 粒 切 削 刃 的 鋒 利 性 有 所 增 加 ， 見 圖 7 - 1 6 a ) ， 圖 b ) 示 出 在 用 碗 形 砂 輪 ( W 1 4 )的 端 面 磨 削 Φ 3 0 m m 硅 片 時 ， 當 使 用 K O H 為 磨 削 液 時 ， 磨 削 力 大 幅 度 降 低 。成 型 式 倒 角 — — 是 用 成 型 砂 輪 沿 徑 向 對 文 承 在 彈 性 支 承 上 的 硅 片 進 行 倒 角 。加工石粉用什么機械其 中 重 要 的 工 序 為 切 斷 和 鏡 面 拋 光 ， 它 將 直 接 影 響 硅 片 的 質 量 。 加 工 效 率 因 加 工 條 件 的 不 同 而 不 同 。還 有 一 種 銅 離 子 置 換 型 的 化 學 機 械 拋 光 。總 之 在 基 片 的 加 工 中 ， 加 入 研 磨 工 序 是 獲 得 高 精 度 基 片 的 有 效 方 法 ， 但 研 磨 實 現 自 動 化 很 困 難 ，而 且 對 研 磨 盤 的 管 理 、 修 整 以 及 加 工 過 程 中 都 要 靠 操 作 者 的 技 術 和 經 驗 ， 對 環 境 也 容 易 污 染 。

在 基 片 內 產 生 的 缺 陷 、 撓 曲 及 切 斷 表 面 所 殘 留 的 微 小 龜 裂 及 應 力 層 等 ， 是 一 般 所 說 的 加 工 變質 層 。藍 寶 石 基 片 的 加 工 工 序 與 硅 片 的 加 工 大 致 相 同 ， 見 圖 7 - 3 1 。使 用 內 圓 周 刃 切 割 的 主 要 優 點 是 ， 鋸 片 采 用 外 圓 周 拉 緊 方 式 固 定 ， 可 以 使 很 薄 的 鋸 片 具 有 較 高的 剛 度 ， 以 小 切 削 余 量 進 行 高 速 切 割 。特 點 ： 研 磨 雖 然 可 以 提 高 平 面 度 、 平 行 度 等 加 工 精 度 ，但 它 容 易 污 染 加 工 環 境 ， 研 磨 效 率 較 低 ， 很 難 適 用 于 自 動 化 生 產 。( 一 ) 外 圓 及 定 向 面 的 磨 削為 使 其 外 圓 成 為 具 有 一 定 尺 寸 的 正 規 圓 柱 體 ， 去 除 拉 單 晶 時 所 造 成 的 缺 陷 ， 需 要 進 行 外 圓 磨 削 。加工石粉用什么機械在 全 部 工 序 中 ， 除 腐 蝕 和 粘 接 外 ， 均 為 磨 料 加 工 。