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石 英 玻 璃 hejun上傳于|質量:5.0分|335|137|文檔簡介|舉報 打開 無 機 材 料 試讀已經結束,如果需要繼續閱讀或下載,敬請購買 ￥0元 購買 大小:704.5通過對多晶硅生產尾氣冷凝液主要成分三氯氫硅和四氯化硅等組分和雜質的含量分析,提出了利用多晶硅生產副產物四氯化硅合成高純石英玻璃的方法及其工藝條件.通過分析四。

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合成石英玻璃四氯化硅公司,采用鼓泡法通過帶料氣體將四氯化硅液體帶入燃燒器,然后由氫-氧氣體混合燃燒產生高 CVD法合成石英玻璃金屬雜質含量低,性能明顯優于熔融石英玻璃,比如高的深紫外透過[0001]本發明涉及石英玻璃蛇制備技術領域,尤其涉及一種高均勾合成石英玻璃蛇的制備 [0027]二氧化硅顆粒的形成:四氯化硅原料直接進入四氯化硅蒸發系統,產生四氯化硅蒸氣。

本發明公開了一種立式四氯化硅汽相沉積合成石英玻璃的方法,以克服臥式工藝中的問題,生產大尺寸、大直徑的石英玻璃錠,并提高沉積效率,降低生產能耗。其主要設計一種立本發明公開了一種臥式四氯化硅汽相沉積合成石英玻璃的方法,以克服臥式工藝中的問題,生產大尺寸,大直徑的石英玻璃錠,并提高沉積效率,降低生產能耗.其主要設計一種多燃燒。

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本發明的目的是這樣達到的現有的四氯化硅、多晶硅和石英玻璃三種產品的單項制備法是,以氯和硅石為原料,在合成爐里合成為四氯化硅;以四氯化硅和氫為原料,在還原爐里還。