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多晶硅的破碎

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多晶硅破碎新技術_紡織/輕工業_工程科技_專業資料。高壓脈沖破碎高純材料破碎領域的革命 多晶硅破碎新技術——瑞士 SELFRAG 高壓脈沖破碎系統 文檔貢獻者 den具體地,本發明涉及破碎多晶硅棒的方法。多晶硅常規地是在西門子(Siemens)反應器中通過氣相沉積制得。在此情況下使高純硅烷或氯硅烷沉積在被加熱的基材(優選由硅組成的基材)上。

權利要求說明書 說明書 幅圖 (54)發明名稱 多晶硅的破碎裝置以及多晶硅破碎物的制造方法 (57)摘要 一種將多晶硅破碎為希望大小的塊,并且 齒的一部分產生缺損和磨損等時,能夠。

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