北京機床研究所是國內進行超精密加工技術研究的主要單位之一，研制出了多種不同類型的超精密機床、部件和相關的高精度測試儀器等，如精度達0.025μm的精密軸承、JCS?027超精密車床、JCS?031超精密銑床、JCS?035超精密車床、超精密車床數控系統、復印機感光鼓加工機床、紅外大功率激光反射鏡、超精密振動－位移測微儀等，達到了國內、國際先進水平。專家系統智能技術的應用使機床操作更容易，對操作人員的技術水平要求更低。專家系統在檢測加工條件時，只要輸入加工形狀、電極與工件材質、加工位置、目標粗糙度值、電極縮放量、搖動方式、錐度值等指標，可自動推算并配置加工條件。 通常在固著磨料研磨的磨具表面上固結極耐磨的磨料，這使得磨具的修整十分困難。精密和超精密加工現狀與發展趨勢小于φ50μm的孔則多采用電加工來完成。 b.精密切削，也稱金剛石刀具切削(SPDT)，用高精密的機床和單晶金剛石刀具進行切削加工，主要用于銅、鋁等不宜磨削加工的軟金屬的精密加工，如計算機用的磁鼓、磁盤及大功率激光用的金屬反光鏡等，比一般切削加工精度要高1~2個等級。

精密和超精密加工現狀與發展趨勢混粉加工技術的發展，使精密型腔模具鏡面加工成為現實。在加工鋁合金等有色材料時可采用金剛石涂層硬質合金鉆頭、DLC涂層硬質合金鉆頭或帶金剛石燒結體刀齒的鉆頭。 超精密加工包括微細加工、超微細加工、光整加工、精整加工等加工技術。目前精密加工是指加工精度為10.1m表面粗糙度為Ra0.10.01m的加工技術但這個界限是隨著加工技術的進步不斷變化的的精密加工可能是明天的一般加工。 機械加工必然殘留有加工變質層，加工中還伴隨著化學反應等復雜現象56，材料去除的原理是從一層原子到數層原子乃數十層原子幾種狀態的復合。 隨著IT相關產業的發展，近年來，光學和電子工業所用裝置的零部件產品的需求急速增長，這種增長刺激了微細形狀及高精度加工技術的迅速發展。

精整加工是近年來提出的一個新的名詞術語，它與光整加工是對應的，是指既要降低表面粗糙度和提高表面層力學機械性質，又要提高加工精度(包括尺寸、形狀、位置精度)的加工方法。該方法主要應用于復雜模具型腔，尤其是不便于進行拋光作業的復雜曲面的精密加工。精密和超精密加工現狀與發展趨勢這不但縮短了加工時間且省卻后處理的麻煩，同時提升了模具品質，使用粉末加工設備可達到要求。手工或機械拋光加工后工件表面粗糙度Ra≤0.05m可用于平面、柱面、曲面及模具型腔的拋光加工。高速高精度孔加工除采用CNC切削方式對孔進行精密加工外，還可采用鏜削和鉸削等方式對孔進行高精度加工。精密研磨與拋光對于金屬和非金屬工件都可以達到其他加工方法所不能達到的精度和表面粗糙度，被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025?;m加工變質層很小，表面質量高，精密研磨的設備簡單，主要用于平面、圓柱面、齒輪齒面及有密封要求的配偶件的加工，也可用于量規、量塊、噴油嘴、閥體與閥芯的光整加工。

實際上，這些加工方法不僅能提高表面質量，而且可以提高加工精度。集成化生產將成為面向21世紀占主導的生產方式。若在大工件的粗加工中選用石墨電極材料也是提高加工效率的好方法。精密和超精密加工現狀與發展趨勢設備柔性是指機床能在短期內適應新零件的加工能力。典型結構如儀表零件、傳動結構、燃料貯箱、發動機殼體等美國熱處理爐約有50以上為真空熱處理爐。國外近年來還發展了以航空航天產品為應用對象的“大型模鍛件的鍛造及葉片精鍛工藝”、“快速凝固粉末層壓工藝”、“大型復雜結構件強力旋壓成型工藝”、“難變形材料超塑成形工藝”、“先進材料(如金屬基復合材料、陶瓷基復合材料等)成形工藝”等。

3向加工檢測一體化發展由于超精密加工的精度很高，必須發展相應的檢測技術才能適應其要求；同時，采用加工和檢測獨立進行的方法可能由于安裝等誤差而不能實現，因此，要采用在位檢測方法，使加工檢測一體化。精密和超精密加工現狀與發展趨勢當前的超精密加工是指被加工零件的尺寸精度高于0.1μm表面粗糙度Ra小于0.025μm以及所用機床定位精度的分辨率和重復性高于0.01μm的加工技術亦稱之為亞微米級加工技術且正在向納米級加工技術發展。這些國家的超精密加工技術不僅總體成套水平高，而且商品化的程度也非常高。對于批量較大的生產自動化，可通過機床自動化改裝、應用自動機床、專用組合機床、自動生產線來完成。 d.超精密特種加工 超精密特種加工主要包括激光束加工、電子束加工、離子束加工、微細電火花加工、精細電解加工及電解研磨、超聲電解加工、超聲電解研磨、超聲電火花等復合加工。 材料的去除量與磁流體粘度有關，可對其粘度進行不斷地監控，使之保持在±1%范圍內，因而它是1 個可控的加工方法7。

該方法主要應用于復雜模具型腔尤其是不便于進行拋光作業的復雜曲面的精密加工。其中微細孔加工技術的開發應用尤其引人注目。上海同濟大學張曙教授提出的獨立制造島(AMI)也是高柔性生產模式。同時，精密和超精密加工技術的發展也促進了機械、、液壓、電子、半導體、光學、傳感器和測量技術及金屬加工工業的發展。超聲振動精密加工研究現狀與發展趨勢--《熱處理技術與裝備》2006年05期#戴向國;傅水根;先逵;;[A];特種加工技術——2001年中國機械工程學會年會暨第九屆全國特種加工學術年會論文集[C];2001年。精密和超精密加工現狀與發展趨勢 d.高效化 現代加工的要求為數控電火花加工技術提供了的加工模式，即要求在保證加工精度的前提下大幅提高粗、精加工效率。

 三、超精密加工的技術應用與發展趨勢 超精密加工是指亞微米級尺寸誤差為0.30.03m表面粗糙度為Ra0.030.005m和納米級精度誤差為0.03m表面粗糙度小于Ra0.005m精度的加工。 一、精密和超精密加工的概念與范疇 通常，按加工精度劃分，機械加工可分為一般加工、精密加工、超精密加工三個階段。 c.搖動加工方法 電火花加工復雜型腔時，可根據被加工部位的搖動圖形、搖動量的形狀及精度的要求,選用電極不斷搖動的方法,獲得側面與底面更均勻的表面粗糙度，更容易控制加工尺寸,實現小間隙放電條件下的穩定加工。精密和超精密加工現狀與發展趨勢智能制造技術(IMT)是將人工智能融入制造過程的各個環節，通過模擬人類專家的智能活動，取代或延伸制造系統中的部分腦力勞動，在制造過程中系統能自動監測其運行狀態，在受到外界干擾或內部激勵能自動調整其參數，以達到狀態和具備自組織能力。隨著這些問題的順利解決，今后可望更好地實現直徑更小的微小深孔加工，加工精度會更高。 b.混粉加工方法 在放電加工液內混入粉末添加劑以高速獲得光澤面的加工方法稱之為混粉加工。